
Спектрометры МСА и рентгеновские спектрометры решают множество материаловедческих задач, требующих точного знания элементного состава. Точность оптических эмиссионных спектрометров выше, но при помощи рентгеновских можно исследовать, например, полупроводники и покрытия.
Более детальную информация часто получают при помощи рентгеновских дифрактометров. Это и информация о структуре и фазовом составе, толщинах тонких плёнок. Исследование текстур, областей когерентного рассеяния, кристаллов подтверждает высокую эффективность использования настольных дифрактометров для решения подобных задач.